Analysis Lab Service
분석 Lab 서비스
FE SEM/FIB/TEM/EDS 분석
FE-SEM 분석
FE SEM
- FE SEM
- Resolution : 1nm@15kV
- 관찰모드 : SE, BSE, EDS, Bias Mode
- FE EDS 성분 분석 : 포인트분석, line 분석, Mapping 분석
-
SEM(LM)
-
SEM(HM)
-
SEM plain view
-
BSE mode
관련 분석 서비스
FIB 분석
FIB
- Dual beam FIB
- Mode : SE, BSE, EDS 분석, Pt gas 포함
- Applications
- X-section with Pt depo
- SEM 촬영 및 SEM 파노라마 촬영 (합성사진)
- EDS 성분 분석( 포인트분석, line 분석, Mapping 분석)
- TEM Lamella 제작 및 in-situ pick up ( Pt depo, Cu grid, Mo Grid)
- Al metal IC의 회로 수정
-
X-section
-
X-section 후 타일링 촬영
-
회로 수정
-
TEM Lamella 제작
관련 분석 서비스
TEM 분석
TEM
- TEM
- Mode : TEM, STEM
- EDS 분석 (point, line, Mapping 분석)
-
TEM 분석
-
STEM BF
-
STEM mode
관련 분석 서비스
EDS 분석
EDS
EDS(Energy dispersive spectroscopy)분석은 1차 전자가 시료에 조사 될 때 발생되는 특성 X선을 이용하여 원소의 성분을 분석하는 방법입니다.
- Oxford instruments
- SDD sensor
-
Spectrum/ 정성분석
-
Spectrum : 정량분석
